近日,由中国中检江苏公司牵头申报的《半导体工艺机台排气通风系统设计要求》与《半导体工艺机台排气通风系统验收规范》两项团体标准,正式获中国出入境检验检疫协会批准立项。
半导体行业是大国竞争的核心领域,一个国家唯有掌握自主可控的半导体产业,方能切实保障经济安全与国防安全。半导体工艺机台是半导体产业的核心基石,更是全球科技竞争的关键制高点,属于国家重点布局的高端装备领域产品。但半导体工艺机台在工艺过程中会使用到大量危险化学品,因此对排气通风系统的安全性和可靠性要求极高。规范排气通风系统的设计要求指标及安全性检验方法,可确保设备在运行、维保和故障状态下,有效控制有害物质,保障操作人员健康与设备财产安全。
此次两项标准成功立项,不仅填补了国内半导体工艺机台排气通风系统领域的标准化空白,更为半导体工艺机台国产化进程提供了关键技术支撑。下一步,中国中检江苏公司将联合国内半导体设备制造企业,共同推进标准编制工作,确保标准科学、实用、贴合产业需求。
2025年7月,获SEMI中国官网推荐,中国中检江苏公司成为国内唯一从事半导体工艺机台第三方评价服务的国资央企。近年来,公司始终紧密围绕国务院国资委“中央企业服务国家重大战略”部署,与十余家半导体工艺机台行业龙头企业建立深度合作,在标准制定、检验评估、技术培训等领域发挥主导作用,推动国产设备技术提升,彰显了央企在半导体行业的使命担当与影响力。
未来,江苏公司将进一步强化“检验、检测、认证、标准”主责主业的服务能力,持续提升核心竞争力,为“制造强国”“质量强国”战略实施贡献中检力量。